Микроэлектромеханические системы и датчики
Микроэлектромеханические системы и датчики
Авторы: Калинкина М. Е., Пирожникова О. И., Ткалич В. Л., Комарова А. В.
Издательство: НИУ ИТМО (Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики)
2020 г.
Кол-во страниц: 75
Предварительный просмотр:
О книге:
В учебном пособии рассмотрены вопросы актуальных областей применения МЭМС и датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы микросенсорной техники, а также элементная база микромеханических приборов, конструкции и принципы работы микромеханических приборов и их измерительные свойства. Предназначено для обучения магистров по направлению подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» для образовательной программы «Проектирования киберфизических систем защиты информации» по дисциплине «Микроэлектромеханические системы и датчики».