Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Авторы: Достанко А. П.
Издательство: Белорусская наука
ISBN 978-985-08-2521-6; 2020 г.
Кол-во страниц: 260
Предварительный просмотр:
О книге:
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.