Введение в прикладную эллипсометрию. Учебное пособие по курсу «Оптико-физические измерения». Часть 3. Эллипсометрия проходящего света
Введение в прикладную эллипсометрию. Учебное пособие по курсу «Оптико-физические измерения». Часть 3. Эллипсометрия проходящего света
Авторы: Скалецкая И.Е., Прокопенко В.Т., Скалецкий Е.К.
Издательство: НИУ ИТМО (Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики)
2014 г.
Кол-во страниц: 104
Гриф: Рекомендовано к печати УМО по образованию в области приборостроения и оптотехники для студентов бакалавров кафедр оптического профиля, обучающихся по направлениям «оптотехника, лазерная техника и лазерные технологии», а так же «техническая физика».
Предварительный просмотр:
О книге:
Учебное пособие рассчитано на студентов и аспирантов оптических специальностей высшей школы по направлениям «Техническая физика» (223200), «Лазерная техника и лазерные технологии» (200500) и имеет следующие практические цели:
1) ознакомление с принципами экспериментальной работы на приборах ручного управления типа ноль-эллипсометров серии лазерных эллипсофотометров марки ЛЭФ-2, 3М, начиная с методов юстировки и калибровки до измерений и обработки первичных данных;
2) пополнение банка данных измерениями новых оптических систем в проходящем и отражённом свете всевозможных веществ и изделий – объектов измерений (ОИ);
3) освоение методик прецизионных измерений амплитудно-фазовых (?? , ??) характеристик поля световой волны после взаимодействия с исследуемым веществом при косом падении (00 < ? <900) методами их многоугловых развёрток;
4) ознакомление с программным обеспечением компьютерной обработки первичной измерительной информации и модельных оценок косвенно измеряемых оптических параметров (d, n, k) исследуемых материалов на примере тест систем ОИ.
В тест-системах пособия рассмотрены аналитические свойства решений основного уравнения эллипсометрии (ОУЭ) Друде, вопросы их математической корректности и физической адекватности свойствам ОИ. Во главу угла логического рассмотрения положено явление эффекта Брюстера и описывающие его законы.