Кремниевая фотоника. Учебно-методическое пособие по практическим работам
Кремниевая фотоника. Учебно-методическое пособие по практическим работам
Авторы: Григорьев Л.В.
Издательство: НИУ ИТМО (Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики)
2016 г.
Кол-во страниц: 93
Предварительный просмотр:
О книге:
Изложены основы технологии создания интегрально-оптических структур по планарной кремниевой технологии, приведены методы исследования физических свойств интегрально оптических элементов кремниевой фотоники и микрофотоэлекроники.
Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия для магистров высших учебных заверений, обучающихся по направлению подготовки 12.04.03 «Фотоника и оптоинформатика».