Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей: учебное пособие
Авторы: Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П.
Издательство: Уральский федеральный университет
ISBN 978-5-7996-1110-1; 2014 г.
Кол-во страниц: 51
Предварительный просмотр:
О книге:
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.