Лазерные микро– и нанотехнологии в микроэлектронике
Лазерные микро– и нанотехнологии в микроэлектронике
Авторы: Вейко В.П.
Издательство: НИУ ИТМО (Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики)
2011 г.
Кол-во страниц: 141
Предварительный просмотр:
О книге:
Для бакалавров и магистров направлений 200500 «Лазерная техника и лазерные технологии, 200200 «Оптотехника», 223200 «Техническая физика», 200700 «Фотоника и оптоинформатика», 200100 «Приборостроение», а также для студентов специальностей 200201 «Лазерная техника и лазерные технологии», 210401 «Физика и техника оптической связи». Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.