Современные устройства и элементы наноэлектроники
Авторы: Бунтов Е. А., Вохминцев А. С., Штанг Т. В.
Издательство: ФЛИНТА
Издание: 2-е изд.
ISBN 978-5-9765-5036-0; 2022 г.
Кол-во страниц: 132
Предварительный просмотр:
О книге:
В пособии рассмотрены физические основы, а также основные типы современных и перспективных элементов наноэлектроники. Особое внимание уделе-но полевым транзисторам с индуцированным каналом (МОП), их масштабированию и побочным эффектам миниатюризации. Рассмотрены краткие теоретические сведения и задания для практических занятий по разделам, не нашедшим отражения в основной части пособия.
Настоящее пособие может быть использовано в учебных целях в вузах физического, приборостроительного и электротехнического профилей.