Теоретические основы технологии полупроводниковых наноструктур
Теоретические основы технологии полупроводниковых наноструктур
Авторы: Дубровский В. Г.
Издательство: НИУ ИТМО (Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики)
2019 г.
Кол-во страниц: 225
Предварительный просмотр:
О книге:
В настоящем учебном пособии дано введение в современное состояние исследований полупроводниковых нитевидных нанокристаллов (ННК), в особенности, ННК полупроводниковых соединений III-V. Изложены физические основы выращивания ННК по механизму «пар-жидкость-кристалл» и основные эпитаксиальные технологии синтеза ННК. Детально рассмотрены термодинамические и кинетические факторы, определяющие морфологические свойства, состав и кристаллическую структуру ННК. Изложены основные теоретические модели роста и структуры ННК. Приведены данные по физическим свойствам ННК и возможностям их применений в нанофотонике, наноэлектронике и нанобиотехнологии. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению подготовки «16.04.01 техническая физика».