Технология полупроводниковых материалов
Авторы: Александров С. Е., Греков Ф. Ф.
Издательство: ЛАНЬ
Издание: 3-е изд., стер.
ISBN 978-5-507-55147-7; 2026 г.
Кол-во страниц: 232
Предварительный просмотр:
О книге:
Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по программе "Современные проблемы материаловедения" направления подготовки "Материаловедение и технология новых материалов". Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.