Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Авторы: Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Издательство: ЛАНЬ
ISBN 978-5-507-45480-8; 2023 г.
Кол-во страниц: 216
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».