Технология интегральных микросхем
Авторы: Смирнов В. И.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-1232-2; 2023 г.
Кол-во страниц: 244
Предварительный просмотр:
О книге:
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».