Основы микроэлектроники
Авторы: Ефимов И. Е., Козырь И. Я.
Издательство: ЛАНЬ
Издание: 3-е изд.
ISBN 978-5-8114-0866-5; 2022 г.
Кол-во страниц: 384
Предварительный просмотр:
О книге:
В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники. Учебник предназначен для студентов технических вузов и университетов, изучающих микроэлектронику.