Микродатчики и микросистемы
Авторы: Гридчин А. В.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-1220-9; 2023 г.
Кол-во страниц: 184
Предварительный просмотр:
О книге:
Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».