Физические основы нанотехнологий и наноматериалы
Авторы: Смирнов В. И.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-1246-9; 2023 г.
Кол-во страниц: 232
О книге:
Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».