Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники
Авторы: Никифоров И. К.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-1230-8; 2023 г.
Кол-во страниц: 416
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры.
Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.