Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы.
Авторы: Барыбин А.А.
Издательство: Физматлит
ISBN 978-5-9221-0918-5; 2008 г.
Кол-во страниц: 424
Гриф: Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 550700 и 654100 «Электроника и микроэлектроника» подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов.
Предварительный просмотр:
О книге:
В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
Книга предназначена главным образом для студентов как учебное пособие по физико-технологическим основам электроники и микро-электроники, но может оказаться полезной и специалистам в этой области.