Электромеханические микроустройства
Авторы: Мухуров Н.И., Ефремов Г.И.
Издательство: Белорусская наука
ISBN 978-985-08-1419-7; 2012 г.
Кол-во страниц: 257
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.