Твердые растворы на основе карбида кремния
Авторы: Сафаралиев Г.К.
Издательство: Физматлит
ISBN 978-5-9221-1297-0; 2011 г.
Кол-во страниц: 296
Предварительный просмотр:
О книге:
Настоящая монография содержит теоретические и экспериментальные результаты исследований в области формирования твердых растворов на основе SiC и соединений AlN, GaN, NbC, TiC, ZrC методами жидкофазной и газофазной эпитаксии. В работе представлены электрофизические, оптические и структурные свойства монокристаллов, эпитаксиальных слоев и гетероструктур на основе твердых растворов SiC, а также рассмотрены их приборные применения. Книга адресована научным работникам, аспирантам и студентам, работающим в области физики и технологии широкозонных полупроводниковых материалов, а также специалистам электронной промышленности.