Контакты металл–полупроводник: физика и модели
Контакты металл–полупроводник: физика и модели
Авторы: Божков В.Г.
Издательство: Национальный исследовательский Томский государственный университет
ISBN 978-5-94621-571-8; 2016 г.
Кол-во страниц: 528
О книге:
Монография предлагает обстоятельный анализ сложившихся на протяжении длительного периода представлений по основным вопросам физики контактов металл-полупроводник с барьером Шоттки с широким привлечением различных моделей. Её можно рассматривать как попытку более сбалансированно оценить возможности новых и известных физических моделей и взглядов на природу барьера, аномалии электрофизических характеристик контактов, особенности их низкочастотных и высокочастотных шумов. Представлены также собственные взгляды автора по дискуссионным вопросам физики реальных контактов. Предложен подход к анализу характеристик контактов, позволяющий дать универсальное объяснение некоторым известным эффектам (низкотемпературной аномалии вольт-амперных характеристик (ВАХ), связи высоты барьера и показателя идеальности ВАХ, размерным эффектам и другим), основанное на учёте нелинейной зависимости высоты барьера от смещения. Наиболее вероятными физическими причинами последней (кроме эффекта сил изображения) могут быть неоднородность распределения высоты барьера в контакте, неоднородный характер распределения поверхностных и приповерхностных состояний по энергии и локальная термополевая эмиссия. Для специалистов в области технологии полупроводников и полупроводниковой электроники, аспирантов, магистрантов и студентов соответствующих специальностей.