Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники
Авторы: Величко А. А., Гришина И. В., Игнатов А. Н., Фадеева Н. Е., Филимонова Н. И.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-1316-9; 2023 г.
Кол-во страниц: 352
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование.
Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
