Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Авторы: Родионов Ю. А.
Издательство: ЛАНЬ
Издание: 3-е изд., стер.
ISBN 978-5-507-46956-7; 2023 г.
Кол-во страниц: 220
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».