X
Расширенный поиск
Все разделы
Корзина
у вас нет товаров
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Яфаров Р.К.

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Авторы:
Издательство: Физматлит
ISBN 978-5-9221-1150-8; 2009 г.
Кол-во страниц: 216

Положить в корзину

Предварительный просмотр:

О книге:

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Вверх