Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Авторы: Родионов Ю. А.
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN 978-5-9729-0337-5; 2019 г.
Кол-во страниц: 352
Предварительный просмотр:
О книге:
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.