Расширенный поиск
Все разделы
Корзина
у вас нет товаров
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Часть 2 Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г.

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Часть 2

Авторы:
Под общей ред. чл.-корр. РАН проф. Чаплыгина Ю.А.
Издательство: Лаборатория знаний (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Издание: 3-е изд. (эл.)
ISBN 978-5-9963-2568-9; 2015 г.
Кол-во страниц: 425
Гриф: Рекомендов ано Учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) «Микроэлектроника и твердотельная электроника»

Положить в корзину

О книге:

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Вверх