Расширенный поиск
Все разделы
Корзина
у вас нет товаров
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Авторы:
Под ред. Тимошенкова С.П.
Издательство: Лаборатория знаний (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Издание: 3-е изд. (эл.)
ISBN 978-5-9963-2129-2; 2015 г.
Кол-во страниц: 286
Гриф: Допущено Учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиоэлектроники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника»

Положить в корзину

О книге:

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультра-больших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Вверх