Расширенный поиск
Все разделы
Корзина
у вас нет товаров
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Авторы:
Издательство: Лаборатория знаний (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Издание: 3-е изд. (эл.)
ISBN 978-5-9963-2569-6; 2015 г.
Кол-во страниц: 277

Положить в корзину

О книге:

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Вверх